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鍍鋅螺旋風管排氣類型分類
（1）一般排氣：其來自設備運行發燙造成沒有有害物或者高溫氣體，但考慮到潔凈室中央空調負載與過濾系統負載，因而將廢氣以一般荷蘭風車抽至大氣排出至大氣自然環境而不需解決。注：GEX選用熱鍍鋅不銹鋼風管，HEX選用SUS304酸排（SEX），堿排（AEX）系統步驟。
（2）酸堿性排氣：其關鍵來自化學水處理工作平臺，清理芯片時需造成之揮發物氣體，此氣體一部分帶有煙霧，一部分則對呼吸道有刺激功效有危害身體，故務必通過Scrubber中水清洗中和解決，再由風機排入大氣。
（3）有機溶劑排氣：其關鍵來自點膠，顯影液工藝流程和各工藝流程應用正己烷清理全過程時需造成，須經有機化學廢氣處理設備處理后，再由離心風機排進大氣。
（4）堿性剝離排氣：關鍵來源于為列陣工程項目的剝離工藝流程所應用之剝離液,廢氣首先通過冷疑凈化塔,將廢氣中的剝離液制冷出來,冷卻器消化吸收解決后的廢氣含有的廢氣濃度值會大幅降低,隨后送往CentralScrubber做水清洗中和解決，再由離心風機排大氣。
（5）應急排氣：當凈化室機臺端風管中攝像頭磁感應氣體濃度值過高時，緊急啟用以使生產正常并維持室內環境。
